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高硼硅超薄/基板玻璃
高硼硅載板玻璃
核心優(yōu)勢：
·化學(xué)穩(wěn)定性、熱穩(wěn)定性優(yōu)于硅晶圓
·光學(xué)透明性提升電路圖案刻蝕精確性
·可通過離子束刻蝕、電子束刻蝕等技術(shù)形成微小電路圖案，降低光刻機(jī)依賴
·相比硅晶圓，玻璃晶圓電子遷移率高，適用于制作高速電子設(shè)備
應(yīng)用場景
半導(dǎo)體蝕刻